企业信息

    北京维意真空技术应用有限责任公司

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  • 公司认证: 营业执照已认证
  • 企业性质:私营企业
    成立时间:2013
  • 公司地址: 北京市 密云县 西田各庄镇 雁密路99号601室-819
  • 姓名: 于磊
  • 认证: 手机未认证 身份证已认证 微信已绑定

    供应分类

    维意真空PE-CVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备

  • 所属行业:教育装备 实验室**设备
  • 发布日期:2024-03-27
  • 阅读量:800
  • 价格:面议
  • 产品规格:不限
  • 产品数量:1.00 套
  • 包装说明:不限
  • 发货地址:北京大兴旧宫  
  • 关键词:维意真空,PE-CVD,等离子增强化学气相沉积镀膜设备,CVD,管式炉

    维意真空PE-CVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备详细内容

    *** PE-CVD结构特点介绍:
    1、PECVD系列真空管式高温烧结炉如图所示,集控制系统与炉膛为一体;
    2、炉衬使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料,采用进口高温合金电阻丝为加热元件;
    3、高纯石英管横穿于炉体中间作为的炉膛,炉管两端用不锈钢法兰密封,工件式样在管中加热,加热元件
       与炉管平行,均匀地分布在炉管外,有效的保证了温场的均匀性;
    4、测温采用性能稳定,**命的“K”型热电偶,以提高控温的精准性;
    5、它是专为高等院校﹑科研院所及工矿企业对金属,非金属及其它化和物材料在气氛或真空状态下进行烧
       结﹑融化﹑分析而研制的**设备;
    6、MPECVD系列真空管式炉能够快速开启,快速升降温,方便客户对特殊材料的装载,烧制和观察;
    7、炉体的控制面板配有触摸屏,控制电源开关,配有电源和保险指示灯,以便随时观察本系统的工作状态。
    *** 基本功能介绍:
    1、辉光放电:在系统低于100Pa启动射频电源可以实现辉光放电;
    2、加热:系统可以设置30段温控程序,彩屏系统预存15条烧培曲线,针对不同的样品,设置不同的预
             设曲线,避免重复设置;
     3、自动清洗功能:样品放入线圈的区域,配置好参数(PECVD功能配置),系统会自动抽真空,并
                      通入设置的气体,自动启动辉光放点;
    4、自动cvd功能:样品放入线圈的区域,配置好参数(PECVD功能配置),系统会自动抽真空,并通入
                     设置的气体,自动启动辉光放点;
    5、智能能模式:实现自动清洗和cvd功能,样品不需移出,清洗cvd功能一键完成,并能实现多次的循
                   环操作;
    6、通气时间可以设定:通过界面设置通气时间,时间到后,系统自动停止流量计,达到节能环保的目的;
    7、恒定真空控制:系统设置一个真空度的数值(见参数“真空设定值”),配合手动阀和真空泵,系统
                     能实现真空的恒定;
    8、系统微正压控制:系统设置一个正压值(见参数“真空设定值”),并配置好相应的气路,配合手动
                       放气阀,可以实现系统微正压的恒定;
    9、系统正压保护功能:当因为误操作或者其他原因,系统压力**过保护值时(见参数“放气阀开启压力”),
                        系统会自动关闭进气,保护设备;
    10、加热炉膛移动的速度可以调节。
    
    
    
    
     该系列PECVD系统具有固态等离子源、分开式反应气体进气系统,动态衬底温控,全面控制真空系统,采用集中现场控制总线技术的“值守精灵”控制软件,以及友好用户操作界面来操作。适用于室温至1400℃条件下进行的SiO2、SiNx,、?SiONx?a-Si薄膜的沉积,同时可实现TEOS源沉积,SiC膜层沉积以及液态或气态源沉积其它材料,尤其适合于**材料上高效保护层膜和特定温度下无损伤钝化膜的沉积。?
    *** 主要特点:
    ??清洗镀膜一气呵成,杜绝二次污染;
    ??上开启结构,式样观察方便;
    ??触屏人机对话整体性操作,安全可靠;;
    ??产品采用全自动控制方式,触摸屏,数字化显示。
    ??真空系统、工作压强、电源系统及自动匹配、工艺气体流量、加热系统、运动系统、工艺过程、系统监控及数据采集等

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