可移动排气台

可移动排气台方案配置说明
一、配置（简单气路，不用旁抽）：
分子泵：JTFB-1600，抽速1600L/s的国产风冷复合分子泵；
机械泵：TRP-36，抽速9L/s的合资机械泵；
复合真空计：PDF-5227，测量范围大气压—10-5Pa，含CF35
电离规和KF16电阻规；
转接真空室：CF250—CF150，高度200mm；
插板阀：CF150手动；
防返油阀：KF40压差隔断放气阀，电磁驱动；
波纹管：1根 CF150*1500mm+1根 KF40*500mm
移动平台：带围板的小车。