加热真空吸附卡盘

恒温真空吸附卡盘

•  铝合金盘台尺寸4"、6"、8"，平整度5μm。

•  带3-4个真空吸附孔

•  无油气泵，7 升 / 分钟，可连续工作

•  可通水或气体循环冷却

•  含加热功能，加热温度300摄氏度，控温精度±1度，显示精度0.1度，

有效区域内温度均衡性±5度。

•  可选配制冷功能，温度-130摄氏度（真空环境下）。

•  具备快速冷功能，配置水冷却接口，可连接冷水机实现的功能。