高真空热蒸发镀膜机

EV-246小型电阻蒸发镀膜机
真空腔室：1Cr18Ni9Ti不锈钢材质，氩弧焊接，上开盖和前开门结构；
真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；
限真空：8✕10-5Pa（设备空载抽真空24h）；
真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；
基片台：可拆卸式，尺寸60✕60mm，旋转0～20r/min可调，可加热至300℃（可选水冷功能）；
蒸发源及电源：水冷铜电3组，逆变式蒸发电源，功率2KW，配源间防污隔板；
膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空；
整机尺寸：L60cm✕W60cm✕H96cm机电一体化机架，预留1个CF35法兰接口。